MEMS与传感器仪器&应用

◆ MEMS器件：光学MEMS、射频MEMS、MEMS物理传感器、微射流、MEMS执行器、MEMS电能等；

◆ 分析与检测设备：光学显微镜,SPM,AFM,LSI测试探测器，扫描电子显微镜、超精确度测量仪器，设计工具，模拟，表面微加工、电子显微镜等；

◆ MEMS应用产品：麦克风、显示、超微型机器人装置、微型工厂、传感器网络、能量收集等；

芯片制造材料与设备

◆ 材料类：压电薄膜材料、抗压材料、附着材料、保护材料、碳纳材料、蓝宝石、聚合物、陶瓷等；

◆ MEMS技术及应用，蚀刻，离子束激光处理器，微电路制造、MEMS设计及软件、MEMS器件如加速度计、陀螺仪、压力传感器、磁传感器等；

◆ MEMS先进封装、MEMS应用、纳米压印技术、纳米机械、微制程技术、分析与检测仪器、MEMS技术与医疗应用、显微镜、影像传感器、飞秒激光曝光设备等；

◆ MEMS代工服务：仿真服务、原型测试、产品开发等其他代工服务；

微纳制造技术

◆ 纳米研磨设备(干湿法研磨、卧式砂磨机、薄膜成形、珠式砂磨机、三棍研磨机）

◆ 纳米微粒混合物，分散技术，薄膜制造技术，蚀刻，离子束激光处理器，电子束处理，填装充电处理等；

◆ 微电路制造,超精度表面加工技术，融合接合技术,下一代光刻技术，纳米压印技术，飞秒激光曝光设备等；

◆ MEMS、喷墨机,NEMS，传感器，纳米电子,光电,射流,模型，WCM等；

芯片终端应用创新成果

◆ 生物传感器、物理传感器、化学传感器、生物传感器、以及生物电极传感器等；

◆ 植入式传感器、暂时植入式传感器、体外传感器、用于外部设备传感器、可食用传感器、柔性传感器、可消化传感器和新型传感器等；

◆ 可消化传感器、可消化微型麦克风、可卷曲消化传感器等； 肿瘤纳米荧光传感器、可拉伸植入式应力应变传感器、气敏传感器胶囊、纳米呼吸传感器等；